德國HNP Mikrosysteme公司推出的mzr-2965磁力密封微量泵，屬于微環形齒輪泵系列，是一款專為精密微量輸送而設計的緊湊型全封閉泵。該泵直徑僅22 mm、長度69 mm，重量約120 g，是尺寸小的工業級磁力密封微量泵之一。

HNPM mzr-2965磁力密封微量泵

mzr-2965微量泵的流量范圍為0.03至18 ml/min，最小計量容積可達10 μl，排量容積為3 μl。最大系統壓力為6 bar（含入口壓力與輸出壓差之和），輸出壓差范圍為0至3 bar。驅動電機采用24V直流無刷電機，功率6.4 W，集成運動控制器支持速度與位置控制。該泵適用于-15至+60℃的液體溫度范圍和0.3至500 mPa·s的粘度范圍。泵體接液部件采用不銹鋼316L、碳化鎢、陶瓷等耐磨超硬材料。

1.全封閉無軸封設計

mzr-2965微量泵最核心的特性在于其磁耦合全封閉設計——泵體沒有傳統的動態機械軸封。驅動力通過環繞磁力驅動裝置的液體分離杯，由旋轉磁場從外部傳遞給內部轉子。整個轉子封閉在泵腔內部，沒有貫穿泵壁的旋轉軸，從物理結構上消除了軸封泄漏點。

這一設計使mzr-2965特別適用于處理結晶性、對氧氣或濕氣敏感的液體。在封閉的液冷回路中，它既能防止工質向外泄漏，也能阻斷外界空氣和濕氣反向侵入系統。

2. 微環形齒輪技術帶來低脈動輸出

mzr-2965采用微環形齒輪泵原理，內齒外轉子與外齒內轉子在精密嚙合過程中形成封閉腔體，容積呈線性變化。這一結構決定了其流量輸出具有天然的連續性，脈動極低。不同于蠕動泵的間歇擠壓或活塞泵的吸排轉換，微環形齒輪泵的排量曲線近乎平直，能夠在整個流量范圍內保持高精度的穩定輸送。

3. 集成運動控制器與靈活控制

mzr-2965集成了可編程運動控制器，支持速度控制和位置控制。控制接口包括0-10V模擬量輸入、24V數字輸入、RS-232串口及CANopen。用戶可根據實際需求，通過外部信號實時調節泵的轉速和流量，實現動態按需供液。

4. 緊湊結構與長壽命

得益于全新的產品設計以及與集成運動控制器的優化匹配，mzr-2965在如此小的體積內實現了完整的磁力密封泵送功能。泵體采用耐磨超硬材料，在正常工況下具有長使用壽命和低能耗的特性，且磁力耦合設計使泵基本免維護。

mzr-2965與AI芯片氟化液直冷應用的高度適配

AI芯片液冷散熱采用R1233zd等低沸點氟化液作為冷卻工質，要求泵在600 μl/min（0.6 ml/min）的超低流量下連續穩定運行。這一應用場景對輸送設備提出了密封性、流動品質、抗壓能力和控制精度的多重嚴苛要求——而mzr-2965的設計特性恰恰與這些要求高度吻合。

密封性：全封閉設計杜絕R1233zd泄漏

R1233zd常壓沸點僅18℃，常溫下即呈現強烈汽化傾向。傳統帶軸封的泵難以杜絕制冷劑蒸汽的微量滲漏。mzr-2965的全封閉無軸封設計從物理結構上消除了這一隱患——沒有旋轉軸伸出泵體，就沒有軸封泄漏點。同時，外界濕氣也無法通過軸封間隙反向侵入閉環系統，避免了水分子與氟化液接觸可能引發的工質劣化。

低脈動：保障微通道液膜穩定

在600 μl/min的超低流量下，任何壓力波動都會被放大。蠕動泵或活塞泵的間歇式排液會產生顯著脈動，足以將冷板微通道內的冷卻液膜震得支離破碎，導致換熱效率驟降。mzr-2965的微環形齒輪技術提供高精度、低脈動的連續液流，確保冷卻液膜始終穩定貼附于換熱表面。

bar壓差：從容應對兩相流沖擊

當R1233zd在冷板內發生局部沸騰時，汽化膨脹會產生瞬時背壓沖擊。mzr-2965具備0-3 bar的輸出壓差能力，遠超該類回路常見的壓力波動幅值，即使突發膨脹也能維持連續輸送。

微升級精密調節：實現按需供液

mzr-2965的最小計量容積僅10 μl，流量可在0.03-18 ml/min范圍內精確調節。集成運動控制器支持根據CPU/GPU實時負載信號動態調整流量，實現按需供液、能效優化。

總結

mzr-2965以其全封閉無軸封設計、微環形齒輪低脈動技術、3 bar壓差輸出能力以及微升級精密調節四大核心特性，與AI芯片R1233zd氟化液直冷場景中的密封、穩流、抗壓、精調四重需求形成了精準對應。對于正在為AI液冷系統尋找超低流量氟化液輸送方案的工程師而言，mzr-2965提供了一個在產品設計層面即已為這一工況做好準備的工程化選項。

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